Viilutamine, puhastamine, seemisnaha ettevalmistamine, perifeerne söövitamine, PN pluss ühenduskoha eemaldamine tagaküljel, ülemiste ja alumiste elektroodide valmistamine, peegeldusvastase kile valmistamine, paagutamine, testimine ja sorteerimine jne 10 sammu.
Päikesepatareide spetsiifiline tootmistehnoloogia
(1) Viil: ränivarras lõigatakse mitme juhtmega lõikamise teel ruudukujulisteks räniplaatideks.
(2) Puhastamine: puhastage ränivahvlit tavapärase puhastusmeetodiga ja seejärel eemaldage 30-50um räniplaadi pinnalt lõikekahjustuse kiht happe (või leelise) lahusega.
(3) Seemisnaha valmistamine: ränivahvli anisotroopset söövitamist leelislahuses kasutatakse seemisnaha valmistamiseks räniplaadi pinnale.
(4) Fosfori difusioon: PN pluss ristmikud moodustuvad difusiooni teel katteallikast (vedelallikas või tahke fosfornitriidi helbeallikas) ja liitumissügavus on üldiselt 0.3-0.5um.
(5) Perifeerne söövitamine: difusiooni ajal räniplaadi pinnale moodustunud difusioonikiht lühendab aku ülemist ja alumist elektroodi ning eemaldab difusioonikihi varjestades märgsöövituse või plasma kuivsöövituse.
(6) Eemaldage tagumine PN pluss ühendus. Tagumine PN pluss ristmik eemaldatakse tavaliselt märja söövitamise või lihvimise teel.
(7) Ülemiste ja alumiste elektroodide valmistamine: vaakumaurustamise, elektrivaba nikeldamise või alumiiniumpulbertrükkimise ja paagutamise abil. Esiteks valmistatakse alumine elektrood ja seejärel ülemine elektrood. Alumiiniumpulbertrükk on laialdaselt kasutatav protsess.
(8) Peegeldusvastase kile valmistamine: sisendpeegelduse kadude vähendamiseks tuleks räniplaadi pinnale katta peegeldusvastase kile kiht. Peegeldusvastaste katete valmistamiseks kasutatavad materjalid on MgF2, SiO 2, Al2O3, SiO, Si3N4, TiO2, Ta2O5 ja nii edasi. Protsessi meetodid võivad olla vaakumkatmine, ioonkatmine, pihustamine, trükkimine, PECVD või pihustamine.
(9) Paagutamine: aku kiipide paagutamine nikli- või vasest aluspinnal.
(10) Katse klassifikatsioon: vastavalt kindlaksmääratud parameetritele ja spetsifikatsioonidele, katse klassifikatsioon.
